工具显微镜toolmaker'smicroscope以测量显微镜瞄准、能在、两个坐标内进行测量的通用光学长度测量工具。
测量显微镜又称主显微镜。它的分划板上有供瞄准用的米字形、螺纹轮廓形和其他形状的标线。
工具显微镜是20世纪20年代初期发展起来的,初期用于螺纹测量等,20年代后期出现万能工具显微镜。70年代以后,应用光栅测长技术后出现数字显示工具显微镜。80年代中期出现应用电子计算机技术处理测得数据的工具显微镜。分类和结构工具显微镜分小型、大型和万能3种类型,其常见的测量范围分别为50×25毫米,150×75毫米和200×100毫米。它们都具有能沿立柱上下移动的测量显微镜和坐标工作台。测量显微镜的总放大倍数一般为10倍、20倍、50倍和100倍。小型和大型的坐标工作台能作纵向和横向移动,一般采用螺纹副读数鼓轮、读数显微镜或投影屏读数,也有采用数字显示的,分度值一般为10微米、5微米或1微米。万能工具显微镜的工作台仅作纵向移动,横向移动由装有立柱和测量显微镜的横向滑架完成,一般采用读数显微镜、投影屏读数或数字显示,分度值为1微米。工具显微镜的附件很多,有各种目镜,例如螺纹轮廓目镜、双像目镜、圆弧轮廓目镜等,还有测量刀、测量孔径用的光学定位器和将被测件投影放大后测量的投影器。
此外,万能工具显微镜还可带有光学分度台和光学分度头等。用途和测量方法工具显微镜主要用于测量螺纹的几何参数、金属切削刀具的角度、样板和模具的外形尺寸等,也常用于测量小型工件的孔径和孔距、圆锥体的锥度和凸轮的轮廓尺寸等。工具显微镜的基本测量方法有影像法和轴切法。①影像法:利用测量显微镜中分划板上的标线瞄准被测长度一边后,从相应的读数装置中读数,然后移动工作台(或横向滑架),以同一标线瞄准被测长度的另一边,再作第二次读数。两次读数值之差即被测长度的量值。图2[用影象法测量样板尺寸]为利用影像法测量样板的l尺寸。②轴切法:测量过程与影像法相同,但瞄准方法不同。测量时分划板上的标线不直接瞄准被测长度的两边,而瞄准与被测长度相切的测量刀上宽度为3微米的刻线,以此来提高瞄准精度(见螺纹测量)。